美國ZYGO白光(guang)干(gan)涉儀
引入美國ZYGO白光干涉儀,用于3D形貌定量測(ce)試和精密(mi)機械表(biao)面粗糙度(du)檢測(ce)的理想非接觸式檢測(ce)工(gong)具,
為工業化的設計(ji)提供快速(su),精確的測(ce)量方案。